淨室的定義為:將空間範圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當潔淨的環境。亦即:這個環境中的微塵粒子相當少,稱之為無塵室。
無塵室系統,製造符合規格之潔淨空氣,連續且穩定供給足夠之潔淨空氣於使用端,無塵室內的製造區(FAB)。一般而言,製造潔淨空氣之氣源為外氣(OUTSIDE AIR),不鏽鋼椅經過無塵室系統各種處理單元裝置之處理後進而得到符合規格之潔淨空氣。行業之中,尤其以半導體晶圓製程對無塵等級的要求最高,因為現今的晶圓已經都發展到奈米級的水準,如上圖所示隨便一粒灰塵掉落在晶圓上都可能造成整個晶圓線路的毀損,甚至導致這個晶圓必須報廢。
所以這些需要嚴格管控灰塵大小及數量的環境就通通被稱為「無塵室」或「潔淨室」。在不同的鋼種編號後,常會見到增加一些特別的符號,以表示特別的成分增加。例如常見的304L代表低碳含量,304LN代表低碳外增加了氮,304Cu代表增加了銅等,如果有兩種以上類似的,則後面再標以1或2,如304L1、304L2等,可以因應不同的需要而加選擇。無塵室(Cleanroom)環境在現代工業中早已被廣泛應用於半導體生產、液晶螢幕生產、生化技術、生物技術、精密器械、製藥、醫院等因此在應用上必須根據其特性,否則容易發生問題。
不鏽鋼椅-量身設計高度
Publish time:2019-04-12